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                    自動分選系統當前位置:首頁  >>  產品展示

                    CP12 全自動12英寸探針臺

                    項目

                    CP12探針臺

                    機臺尺寸

                    1620mm(W) *1230(D)*1450mm(H)

                    適用晶圓

                    200mm,300mm

                    晶圓厚度

                    250~2000μm

                    Die Size

                    350μm ~76,000μm

                    晶圓搬運方式

                    背面真空吸取,雙Arm

                    針測精度

                    XY:±1.5μm;Z:±2.5μm

                    XY平臺

                    重復定位精度±1μm

                    Z軸

                    重復定位精度±1.5μm,最大速度30mm/s

                    針測壓力

                    50kg(可選200kg)

                    校準方式

                    圖像校準,高低倍模板匹配

                    Index Time

                    240ms(基于Die Size 6mm,Z Clearance 0.5mm)

                    測試溫度

                    常溫~150℃±1℃

                    通訊接口

                    GPIB,預留TTL和RS232

                    可選功能

                    ID讀取,自動換卡

                     

                    ※主要針對CIS和SOC產品推出的高性價比探針臺。

                    版權所有:杭州長川科技股份有限公司 地址:杭州市濱江區聚才路410號

                    電話:+86-571-85096193 傳真:+86-571-88830180 技術支持:故鄉人網絡 浙ICP備13037257號-1

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