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                    AOI系統目錄當前位置:首頁  >>  產品展示

                    iFocus晶圓檢測系統

                    項目

                    iFocus

                    產品類型

                    EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG

                    進料方式

                    裸硅片或者繃環藍膜

                    硅片尺寸

                    5寸/6寸/8寸/12寸

                    多鏡頭配置(正面2D)

                    2.5X /5X /10X  可選配20X

                    燈光模組

                    3組獨立光源配置

                    辨識率

                    3.14um/1.57um/0.78um 每像素

                    檢測能力

                    2x2 像素

                    3D 相機

                    可選配

                    復判鏡頭(彩色)

                    傳輸手臂

                    日本高精度雙手臂模組

                    OCR/二維碼

                    支持

                    翹曲范圍

                    2毫米

                    檢測項目

                    晶圓表面劃傷檢測/RDL 斷路/凸起尺寸和高度檢測/殘膠/金屬殘留等

                    速度

                    8寸  檢查2D 在2.5X時 80片以上

                    8寸  檢查3D 40片以上

                    MTBA

                    6小時

                    MTBF

                    1000小時

                    潔凈度

                    Class 1000

                    內潔凈

                    設備尺寸

                    2x2.1x2.1m

                    版權所有:杭州長川科技股份有限公司 地址:杭州市濱江區聚才路410號

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